晋能科技通过自主研发的“磁控溅射”技术实现磁控物理气相沉积工艺制备，保障产品性能优势。本报通讯员摄

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　　讲述人

　　晋能清洁能源科技股份公司研发高级经理 黄金

　　设备矩阵整齐排列，自动化默契联动……全球首条百兆瓦级大尺寸多主栅异质结电池生产线平稳运行，每片光伏电池以1.5秒的高速率下线。这条保持市场主流配置的生产线，见证着企业的发展，更铭刻着我们团队打破国外技术垄断、实现核心设备国产化的艰辛与荣光。

　　异质结电池技术工艺流程短、光电转换效率高、支持双面发电，且相比同质结拥有更多材料选择和效率提升潜力。这些优势是高效电池技术的重点推动方向，被业内视为光伏产业升级的关键突破口。

　　然而，在行业发展初期，一个严峻的现实摆在所有中国光伏企业面前：异质结电池生产的核心设备——透明导电薄膜制备用“磁控溅射”设备，几乎被国外垄断。“设备国产化”成为横亘在行业面前的一道鸿沟。

　　我们主动扛起了“磁控溅射”设备研发重任，誓要让“中国智造”在这一关键领域站稳脚跟。

　　研发工作刚一启动，产能与载板稳定性的尖锐矛盾就给我们来了个“下马威”。光伏产业对产能要求极为苛刻，要提升产能就必须扩大载板面积。但载板越大，结构稳定性就越差，变形问题会直接严重影响镀膜精度，这是行业内公认的技术瓶颈。

　　我们从材料强度测试到结构力学分析，逐一排查每一个可能的解决方案，最终创新性地提出“大载板结合小载板分区设计”的核心思路：以强度高的金属材料构建载板骨架，保障整体结构稳定;嵌入独立小载板实现变形量的精确控制。

　　解决载板问题后，镀膜工艺掩膜结构优化、透明导电膜水汽控制、靶材寿命提升等新挑战接踵而至。对此，我们通过反复调试、联合设备厂家优化装置与动作逻辑等系列举措攻坚克难，既保障了生产效率，又有效控制了生产成本。

　　截至目前，我们自主研发的“磁控溅射”相关技术已获得17项国家专利，为整个行业的发展注入了强劲动力。这款设备，转换效率比进口设备高0.3%、产能达到进口设备的4倍，而价格仅为进口设备的一半。

　　未来，我们将继续联合更多行业伙伴，在光伏技术创新的道路上勇毅前行，不断攻克更多技术难关，让“中国智造”在核心装备领域绽放出更耀眼的光芒。

　　本报记者张毅整理